X轴滑动直线导轨

移动精度

≤± (1+|0.02L|) μm

X轴定位光栅尺

分辨率

0.01 μm

粗糙度数传感器

分辨率

0.0001 μm

Z1线性精度

≤± (0.8+|0.05H|) μm

圆弧

≤±（1.2＋R/12） μm

角度

≤±1 ′

直线度

≤0.5 μm/100mm

粗糙度测量

Z1轴

±500 μm

评定参数

粗糙度评定参数：Ra、Rz、Rq、Rt、Rp、Rv、Rc、 Rdc、Rsk、Rku、Rsm、Rmr 、Rdq及 Rmr (c)；

波纹度评定参数：Wa、Wz、Wq、Wt、Wp、Wv、Wc、 Wdc、Wsk、Wku、Wsm、Wmr 及 Wmr (c)；

原始轮廓评定参数：Pa、Pz、Pq、Pt、Pp、Pv、Pc、 Pdc、Pdq、Psk、Pku、Psm、Pmr 及 Pmr (c)

取样长度L

0.08、0.25、0.8、2.5、8（mm）；

评定长度

依据 GB/T10610-2009 标准执行；

示值误差

±5%

示值重复性

3%

轮廓测量

测量范围

X轴

≤ 180m

Z轴

≤500mm（可根据用户需求调整）

Z1

± 15mm

工作环境

工作温度：20±2℃（常温）湿度20-80%RH无明显震

源

所需电源

220V    50Hz   0.5Kw 单独地线

仪器尺寸（长×宽×高）

1200×750 × 1800（mm）

仪器重量

约 350Kg